一行要約

• FNS Co..Ltd.は、半導体およびディスプレイ製造工程の核となる電気・電子制御装置に関連するRFソリューション専門企業です。プラズマ状態での反応速度向上に不可欠なリモートプラズマソース、RFジェネレーター、RFマッチャー、DC電源装置など、多様な技術ソリューションを提供する企業です。99.99%の不良率管理による最高品質の製品およびサービス提供能力を有しています。国内初のDLC素材ベースESC表面蒸着技術開発を通じて技術競争力を確保した企業です。半導体産業の革新をリードするグローバル先進企業への成長を目指します。

主要品目/保有技術

• Remote Plasma Source (RPS) の製造および修理・整備サービス提供能力
• RF Generator の製造および修理・整備サービス提供能力
• RF Matcher の製造および修理・整備サービス (COMET 0190-xxxx, 853-xxxx シリーズを含む) 提供能力
• DC Power Supply の製造および修理・整備サービス提供能力
• ESC (Electrostatic Chuck) および Heater の整備サービス提供能力
• DLC (Diamond-Like Carbon) 素材ベースESC表面蒸着技術の開発および適用能力
• RF Blocking Filter 'Quantum' の製造技術を保有
• Ozone Generator の製造技術を保有
• RF Cable の製造技術を保有

競争優位ポイント

• 半導体プラズマプロセス (PVD, CVD, PECVD, ALD, Wet/Dry Etching) に不可欠な電気・電子制御装置に対する包括的な修理および整備ソリューション提供能力
• 99.99%の低い不良率目標を通じた厳格な品質管理システム運営能力
• 国内初のDLC素材ベースESC表面蒸着技術開発により確保された独自の技術競争力
• Advanced Energy, MKS, ENI, COMET など、グローバル先進メーカーのRF Generator およびRF Matcher に対する専門的な修理・整備サービス提供能力
• 継続的なR&D投資および学術界、産業界との国家プロジェクト協力を通じた技術革新推進能力
• 高い耐久性を持つ半導体用特殊ケーブル製造における蓄積されたノウハウを保有
• 国内外の主要半導体およびディスプレイ企業との多数の一次協力会社登録実績
• スマートファクトリーシステム (MES) 導入による生産効率性および管理能力の強化

適用産業

• 半導体製造工程 (成膜およびエッチング工程)
• ディスプレイ製造工程 (薄膜成膜およびエッチング工程)
• 研究および産業機器分野

主要市場

• 中国

認証/特許

• 根幹企業確認書保有
• 素材・部品・装置確認書保有
• 京畿家族親和働きやすい企業選定
• 輸出有望中小企業選定
• 100万ドル輸出の塔受賞履歴
• 技術革新型中小企業(Inno-Biz) 認証
• 経営革新型中小企業(Main-Biz) 認証
• 企業付設研究所認定書保有
• MCA ESC関連特許登録履歴
• ISO 9001 品質マネジメントシステム認証
• ISO 14001 環境マネジメントシステム認証
• ベンチャー企業確認書保有