一行要約

• 半導体製造装置用静電チャックおよび関連技術の開発、製造、販売を主力事業とする日本企業

主要品目/保有技術

• 多様なウェーハ（シリコン、ガラス、石英）、金属メッシュ、金属箔、織物、不織布、炭素繊維、高分子フィルム、粉塵、粒子、紙、写真など、広範な材料に対応する静電チャック（ESC）製品群
• 静電チャックの動作状態と固定された材料を継続的に検知するESCモニタリングユニット技術
• 材料のスムーズな固定および解除をサポートする高電圧バイポーラ（正極および負極）DC電源装置の開発と供給
• 電源供給が途絶えた後も吸着力を維持し、ケーブルなしで動作可能な静電キャリアソリューション
• 静電技術を活用したグリッピング/滑り止めパッド（IonPad）およびクリーンルーム用清浄装置ESCLEANの開発
• ファインセラミックスのような脆性材料や、高温金属、様々なポリマーなどの難削材加工に関する独自の専門技術
• 静電チャック再生技術を世界で初めて開発し、これを中核事業として成長させた技術力
• 半導体産業で培った技術を、ロボット工学、食品、繊維など多様な産業分野向けの静電吸着ソリューションへと展開する能力

競争優位ポイント

• 静電チャック製造における設計から生産、再生に至る全工程を網羅するワンストップソリューション提供能力
• 難削材およびファインセラミックス加工分野において数十年にわたり蓄積された深い専門知識と技術ノウハウ
• 半導体処理技術をロボット工学、食品、繊維などの新規市場へ展開し、競合他社と比較して幅広い適用範囲を確保
• ISO 9001（品質マネジメントシステム）およびISO 14001（環境マネジメントシステム）認証による、製品およびサービスの一貫した品質管理と環境責任の遂行
• 日本、韓国、台湾、米国、シンガポール、ドイツ、中国など主要市場にわたるグローバル事業拠点の構築と顧客サポート体制
• 東京大学生産技術研究所との共同研究など、活発な研究開発活動を通じた継続的な技術革新

適用産業

• 半導体製造産業
• FPD（フラットパネルディスプレイ）製造産業
• 自動車産業
• 繊維産業
• 一般電子産業
• ロボット工学分野
• 食品産業

主要市場

• 韓国, 台湾, シンガポール, 日本, 中国
• ドイツ
• 米国

認証/特許

• ISO 9001（品質マネジメントシステム）認証（2004年）
• ISO 14001（環境マネジメントシステム）認証（2006年）
• ガラスや石英などの絶縁材料のスムーズな固定、解除、および材料ハンドリングのための特許技術を保有
• 世界初の静電チャック再生技術の開発および商業化
• 半導体エッチング工程関連技術開発への貢献