一行要約

• JESCO CO., LTD.は、半導体の中核装置部品である静電チャック（ESC）の製造、再生、修理を専門とする企業です。半導体生産工程に不可欠な静電チャックおよび関連部品の自社開発・供給能力を有しています。継続的な技術革新と卓越した品質を基盤に、国内外の半導体産業の発展に貢献する企業です。

主要品目/保有技術

• ESC（静電チャック）：多種多様な静電チャックの製造、再生、修理サービスを提供可能。LAM 6/8" Anodizing、TEL 8/12" SCCM、AMAT 8/12" Ultima、NOVELLUS 12"など、代表的なESC製品の取り扱い技術力。強化された静電チャック固定力技術の開発および適用能力。
• MCA（Multi-Chamber Assembly）：ENDURA装置に使用されるMCAヒーターESCのスパッタコーティング、オーバーホール修理、供給技術。高性能半導体装置の中核部品に対する専門的な保守および供給能力。
• PI ESC（ポリイミド静電チャック）：ラミネーション工程で使用されるポリイミド静電チャックの製造および修理サービスを提供。特定の半導体プロセス要件に合わせたカスタマイズソリューション提供能力。
• その他製品および技術：新規静電チャックの供給、AlNヒーターの修理、その他専門修理サービスを提供。半導体生産に必要な中核部品であるAlN Heaterおよび関連製品の自社開発・供給能力。

競争優位ポイント

• 静電チャック製造および再生修理の専門性：半導体の中核部品である静電チャック分野において、新規製造と再生修理の両方を網羅する独自の専門性。多様な顧客要求に対応する柔軟なサービス提供能力。
• 独自の技術力と品質の優位性：創業以来、継続的な技術開発と高い品質により、顧客企業から認められる能力。半導体工程の精度と安定性を高める技術的優位性。
• 多様な静電チャック欠陥解決能力：静電チャックに発生し得る様々な欠陥を、再生修理を通じて効果的に解決する技術力。装置稼働率を高め、コストを削減するソリューションを提供。
• 特許に基づく技術競争力：電極パターン間の干渉や短絡を抑制し、電極パターン間の分離幅を微細に制御するバイポーラ静電チャック製造方法に関する特許出願。多孔質層を利用した静電放電関連の特許出願および登録による技術的優位性の確保。
• グローバル市場拡大と顧客ネットワーク：米国、シンガポールなどの海外市場へ製品を輸出し、グローバルなプレゼンスを強化。2016年下半期より中国、台湾など新規市場開拓に注力。
• 継続的な革新と新製品開発：新技術を適用した新製品生産を通じて半導体産業の発展に貢献する挑戦精神。企業付属研究所の認証を通じた技術開発集中能力。

適用産業

• 半導体産業：半導体の中核装置部品である静電チャックの製造および修理を通じて、半導体生産工程に貢献。ウェーハ搬送および固定過程の安定性を確保。
• 半導体製造用機械製造業：半導体製造用機械の中核部品供給を通じて産業の発展を支援。装置の性能と寿命向上に貢献。

主要市場

• シンガポール, 中国, 台湾
• 米国

認証/特許

• バイポーラ静電チャックの製造方法に関する特許出願（2016年1月）。
• 静電放電多孔質層関連の特許出願および登録。
• ISO 9001品質マネジメントシステム認証（2014年10月）。
• ISO 14001環境マネジメントシステム認証（2014年10月）。
• 企業付属研究所認証。
• 中小ベンチャー企業庁より輸出有望中小企業に指定（2018年7月）。
• 中小ベンチャー企業庁よりグローバル強小企業に指定（2021年4月）。
• 貿易協会主催 100万ドル輸出の塔受賞（2016年12月）。
• 貿易協会主催 300万ドル輸出の塔受賞（2020年12月）。